클린룸 공조 시스템의 구조와 원리 – AHU, FFU, HEPA 필터 완전 정리
1. 클린룸 공조 시스템이란?클린룸(Cleanroom)은 단순한 냉난방이나 환기 이상의 정밀한 공기 흐름 제어 시스템이 필요합니다.입자, 온도, 습도, 압력, 유해가스까지 관리해야 하므로, 일반 공조와는 전혀 다른 구조로 설계됩니다.이때 중심이 되는 것이 **공조 설비(공기조화기, 필터, 순환 시스템)**이며, 이에 따라 청정도 유지와 에너지 효율이 좌우됩니다.2. 공기 흐름 구조 – 1패스 vs 재순환 방식클린룸의 공기 흐름 구조는 크게 **1패스(One-pass)**와 재순환(Recirculation) 방식으로 나뉩니다.1패스 방식: 외부 공기를 AHU에서 정화한 후 바로 클린룸으로 공급하고, 배출함. 초기 비용은 낮지만, 에너지 낭비가 큼.재순환 방식: 청정 공기를 클린룸 내부에서 다시 흡입하여 반..
2025. 4. 1.
클린룸 등급별 분류 & 유지 조건 – ISO 등급, 공기청정도 기준 정리
1. 클린룸이란 무엇인가?클린룸(Cleanroom)은 공기 중의 입자 수, 온도, 습도, 압력 등을 엄격히 관리하여 청정한 작업 환경을 유지하는 공간입니다. 주로 반도체, 제약, 디스플레이, 우주항공, 정밀기계 산업에서 사용됩니다.클린룸의 품질은 곧 제품의 품질과 직결되기 때문에, 국제 기준에 따른 등급 관리가 매우 중요합니다.2. 클린룸 등급 – ISO 14644-1 기준현재 전 세계적으로 통용되는 클린룸 분류 기준은 ISO 14644-1입니다.이 기준은 0.1㎛~5.0㎛ 크기의 입자 농도를 기준으로 ISO Class 1 ~ 9까지 등급을 나눕니다. ISO 등급 0.1㎛ 0.3㎛ 0.5㎛ 1.0㎛ 5.0㎛ ISO 110----ISO 31,000237102358ISO 5100,00010,2003..
2025. 4. 1.
스키드(Skid) 시스템이란? – 반도체 플랜트 핵심 장비 해설
1. 스키드 시스템의 정의스키드(Skid) 시스템은 펌프, 밸브, 필터, 센서, 제어 장치 등 다양한 설비를 하나의 프레임 위에 조립한 모듈형 유닛이다. 주로 공장에서 사전 제작 및 조립된 후, 현장에서 통합 설치되기 때문에 설치 기간을 단축하고 시공 품질을 표준화할 수 있는 장점이 있다.특히 반도체 플랜트에서는 고순도 화학약품 공급, 초순수(DIW) 이송, 가스 정제, 필터 유닛 등 정밀 유체 제어가 필요한 공정에 필수적으로 활용된다.2. 스키드 시스템의 구성 요소스키드 시스템은 공정에 따라 구성 방식이 달라지며, 대표적인 구성 요소는 다음과 같다.펌프: 유체 이송용 (원심펌프, 다이어프램 펌프 등)필터 하우징: 입자 제거 및 고순도 유체 확보유량/압력/온도 센서: 실시간 공정 모니터링제어 장치 (PL..
2025. 3. 30.
